魔都，张江高科技园区，上微电子总部。
在最高级别的超净实验室内，贺建国总工正带着十几名核心研发人员，围绕着一台刚刚组装完毕、体积庞大得如同两层楼高的小型工厂的机器，进行着紧张的最后整机联调。
这，就是代表着华国目前半导体工业制造最高水平的——28nm浸没式DUV光刻机第一台原型机。
相比于之前稳定量产的65nm干式光刻机，这台机器的内部结构发生了翻天覆地的变化。
贺建国指着大屏幕上不断跳动的实时监控数据，声音因为连续熬夜而有些沙哑，但透着难以掩饰的激动。
“各单位注意汇报最新参数！”
“浸液系统循环稳定，水体折射率保持在1.44绝对值，没有任何微气泡产生！光学物镜波前像差控制在设计容差范围内！”负责长天光学浸没式物镜系统（NA 1.35）的技术员大声汇报道。
“天卓精密第二代双工件台，硅片定位精度稳定在纳米级别，台面同步运动无明显抖动误差！”
“天虹激光193nm准分子光源，激光脉冲能量输出稳定，功率死死地钉在90瓦，完全满足28nm制程多重曝光的极限能量需求！”
听完这三大核心部件的联调数据，贺建国长长地舒了一口气。
这台28nm光刻机之所以能如此迅速地成型，最大的底气，就来自于天宇集团这几年近乎疯狂的底层投资。
这台机器的三大核心部件——物镜系统、双工件台、准分子光源，全部是长天光学、天卓精密和天虹激光在吸收了65nm研发经验后，砸出海量研发经费迭代出来的最新版本。
“立刻启动最后一项关键验证！”贺建国下达了最终指令，“进行28nm极限线宽的晶圆多重曝光均匀性测试！只要这项数据达标，咱们这台国产28nm浸没式光刻机，就可以正式宣告进入工程样机交付的最后倒计时！”
实验室内的气氛瞬间紧张到了极点，所有人都死死地盯着屏幕，等待着最后曝光结果的显现。
……
郑州，天宇集团总部。
陈立峰刚刚从魔都飞回来，连轴转的行程让他满脸疲惫，但精神却十分亢奋。
他手里拿着一份绝密文件，直接敲开了许晨办公室的大门。
“许总，大好消息！魔都那边贺总工传来确切情报，28nm光刻机原型的多重曝光测试通过了！”陈立峰激动地将报告递到许晨面前，“现在距离工程样机下线，只差最后的微调了！”
许晨接过报告，看着上面那些代表着胜利的数据，嘴角终于露出了满意的笑容。
他知道，这台光刻机能这么快进入验证阶段，简直是一个奇迹。
原本在半导体行业的普遍认知中，从65nm跨越到28nm浸没式，中间横亘着无数技术壁垒。
阿斯麦当年走这条路，花了整整五年多的时间，烧掉了几十亿欧元。
而华国，满打满算，只用了不到两年的时间！
陈立峰平复了一下激动的心情，开始进行汇报。
“许总，这次28nm能这么快出成果。说实话，咱们天宇在底层砸的钱只是点火的引子，真正让这台机器飞起来的，是国家政策那股史无前例的超级东风！”
陈立峰调出一份政策时间轴：“您还记得2017年8月，咱们那台65nm干式光刻机初光测试成功的消息秘密上报给中央后的场景吗？国家层面立刻意识到了这是突破封锁的绝佳契机。”
“从2017年底到2018年初。国务院、工信部、科技部，密集得像下雨一样，出台了一系列针对半导体底层装备的专项支持政策。”
“2018年1月，国家发改委更是直接明确表态，要在集成电路领域组建国家级的产业创新中心！”
“最夸张的是国家集成电路大基金二期的筹备。”陈立峰咽了口唾沫，“预期规模直接达到了两千亿元！资金像泄洪一样，重点去砸光刻机、刻蚀机这些最薄弱的制造环节！”
“有了国家政策这只看不见的大手一挥。这短短两年间，国内海量的企业和资本如同闻到了血腥味的鲨鱼，疯狂涌入光刻机产业链。”
“从光源到物镜，从光刻胶到掩膜版。国内能做底层配套的企业数量，直接翻了三倍都不止！硬生生地把原本需要五年才能走完的研发路径，压缩到了现在的两年！”
许晨听完，深以为然地点了点头，天宇集团只是一个点火的作用，国家不怕投资，就怕投资了也没有出成果，国家本身的发展也不平衡。
像西部地区还有大量人民在贫困线上挣扎，投了钱，没成果还不如把这个大资金去投民生呢，因为那才是实实在在的变化。
所以有时候，只要你做出一点成果，国家真的会给你大量支持。
就像贺建国总工之前在内部总结会上说过一句掏心窝子的话：“如果不是天宇集团在2015年就砸下海量真金白银去搞三大核心部件；如果不是国家在2017年看到65nm成果后，立刻加大战略支持。咱们的28nm光刻机，绝不可能这么快进入验证阶段。”
“立峰，咱们晨宇资本在这条产业链上，到底砸了多少钱进去了？”许晨靠在椅背上，淡淡地问道。
陈立峰立刻打开笔记本电脑中的加密账本，开始逐笔汇报。
“许总，从2015年咱们对长天光学投出第一笔开始算起。这四年来，晨宇资本在光刻机以及相关的半导体底层设备领域，累计砸进去的投资，已经超过了整整120亿元人民币！”
陈立峰指着明细表上的数字：“其中三大核心件。长天光学的物镜系统，咱们累计注资了大约35亿；天卓精密的双工件台，砸了约25亿；天虹激光的准分子光源，约18亿。”
“剩下的40多个亿。我们全部通过分散的股权投资，撒给了光刻胶、掩膜版、涂胶显影设备、以及硅片检测设备等上下游那些关键但缺乏资金的国产配套企业！”
陈立峰合上账本，眼中闪过一丝钦佩的目光。
......
（这里写28nm突破，小作者本身感觉合理的，对比原时空，由于天宇的加入，光刻机相关产业得到了加速，因为可以被神器效果的覆盖，所以让国家看到了成果肯定会及时加大政策，加大投入，原本三期大基金中加起来光刻机的部分估计只占据百分之十左右，一期就更少了，这是查资料得出的，根据披露的资金估算的应该差不多。所以要是光刻机提前出成果并且拥有明确的技术规划，国家肯定会调整政策加大投入的。）
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